近年来，各类电子无尘车间厂房兴起很快。由于各类电子厂房无尘车间生产工艺的差异，其洁净度的要求也不尽相同。在高级别净化工程中，FFU（Fan FilterUnit）的应用越来越多。其主要原因是FFU布置灵活，运行节能，避免庞大的风管系统，节省了建筑空间及能源，改造容易等特点。但是在中低级别的净化工程中，房间面积一般较大。在同一房间内，不同工序需要的洁净度也不一样。由于FFU的价格仍停留在较高的水平上，如果整个房间按照工艺要求的最高级别设计净化空调，在无形中就浪费了能源，增加了投资。故如何考虑多种因素，在满足洁净度的要求下，最大限度地降低投资，合理设计FFU就成了暖通设计师需要考虑的内容。本工程就是其应用之一。
一、工程概况
本工程主要生产LCD液晶显示器等器件。。
该建筑占地1138.2m2，建筑面积2308.8m2，为二层钢筋混凝土框架结构，一层5.4m，二层7.0m。生产区地面采用活动地板满布铸铝支撑在下部密梁上，密梁顶标高为4.9m，架空活动地板高度0.5m，二层FFU底标高2.8m，静压箱高2m。
附图剖面图：
二、净化空调方案的比较选择
该外延厂房（外延是单晶衬底上生长一层新单晶的技术，新生单晶层的晶向取决于衬底，由衬底向外延伸而成，故名“外延层”）6英寸生产线工艺对暖通专业净化要求较高（工艺设备区要求不高，简称灰区，人员正面操作处为净化工作区，简称工作区），因此方案的选择是很重要的。工艺对暖通专业净化要求参数详见下表：
净化、空气调节设计参数表
这种方案又分为干表冷器设于下夹层及顶棚方案
优点：不做回风夹道，少占用建筑空间，不设灰区净化空调系统，节省投资。
缺点：
1、工作区要求高，灰区要求低，气流组织如下：新风和回风上夹层混合后经FFU加压过滤处理后，送入净化工作区，经回风架空活动地板进入下夹层，然后经干表冷器处理后进入灰区，吸收灰区设备发热量后，进入上夹层与新风混合，如此循环处理的过程，空气处理过程及焓湿图如下：
从空气处理过程及焓湿图可以看出，灰区的温湿度要求精度比工作区还高，不节能。
2、灰区属于工艺设备区，使用氢气，整个系统都要设事故排风系统。
3、灰区设备振动等较多，产尘量大，而FFU系统只有一级高级过滤，这样将缩短FFU的使用寿命。
在这种方案中，还有一种是将干表冷器置于顶棚上。干表冷器置于顶棚上，一旦水管及表冷器漏水，将会影响FFU和工作区，灰区，并且维护维修很麻烦。故这种方案不予考虑。
方案二：工作区及灰区要求不一样，工作区和灰区净化空调系统分开设计，如图所示：
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