电子工业洁净室FFU结构简介

一、FFU的外观
　　目前，全世界所有厂家生产的FFU，从外观上可这样划分:
　　1、从形状上分两种，一种是长方体(如图1所示)，一种上部为坡形(如图2所示)。图2所示的FFU的上部做成坡形，起到了一种导流的作用，有利于气流的流动和均匀分布。图1所示的FFU则一般依靠另外的途径来均衡气流(后面详细阐述)。
　　2、从结构上分两种，一种为整体(如图3所示)，一种为分体(如图4所示)。
　　　分体形状的FFU有如下优势：
　　　　① 使过滤器的更换变得方
　　　　② 减小了安装过程中的劳动强度。
　　　整体形状的FFU有如下优势：
　　　　① 增加了FFU的密封性，有效防止了泄漏。
　　　　② 有利于降低噪音
　　　　③ 有利于减小振动
二、FFU的组成部件
　　目前，各种FFU最多由以下几部分组成(按从上到下、从内到外的顺序)，视不同厂家组成部分可能有所减少(如图5所示)。
　　　1、预过滤器 　　　　6、气流均衡装置
　　　2、外壳体 　　　　　7、过滤器
　　　3、风管连接部件　　 8、金属防护网
　　　4、电机 　　　　　　9、刀缘
　　　5、叶轮 　　　　　　10、控制元件

下面，我们对各个部件进行分析介绍：
一、预过滤器
　　一般为可清洗聚胺脂泡沫，主要防止因施工、检修或其它意外情况产生杂物而可能造成的对过滤器的伤害。
二、外壳体
　组成材料大致有铝板、铝合金、硬塑、不锈钢等几种，不同厂家和不同的使用环境有不同的选择，厚度大约为1.2~2.0，视厚度情况有些可以载人。
三、风管连接部件
　　在洁净级别较低(≤1000级 联邦标准209E)的场合，此时吊顶上部没有静压箱，带有风管连接部件的FFU使得风管和FFU的连接十分方便。
四、电机
　　目前，交流电机和直流电机在FFU中都有使用，直流电机的体积大，造价高，控制容易实现，能耗较高。交流电机的体积小，造价低，控制需要相应的技术，能耗较低。现在FFU所使用的 电机的寿命大约为4~10万小时不等。一些优秀的电机会有相应的技术，如无油润滑，密封轴承，带过热保护，换向器寿命得到显著提高等。
五、叶轮
　　叶轮有两种形式，前倾和后倾，前倾有利于增加气流组织的矢向流动，增强去除尘埃的能力。后倾有利于降低能耗，减小噪音。
六、气流均衡装置
　　随着FFU的不断普及，绝大部分厂家都开始装配气流均衡装置，用来调整FFU的出口气流， 从而改善洁净室的气流分布。目前，这种均衡装置大约分为三种：一种为孔板(如图6所示)， 主要通过板上的孔的疏密分布来调节FFU的出口气流。一种为格栅(如图7所示)，主要通过格栅 的疏密来调节FFU的出口气流。另外一种为动力曲线(如图8所示)，主要通过曲线的形状来诱导气流的流动，同时也通过曲线上的孔的疏密分布来调节气流。
七、过滤器
　　FFU所使用的过滤器和洁净厂房所用的其它过滤器一样，这里不再赘述。
八、金属防护网
　金属防护网主要起到对过滤器的保护作用，大部分都防静电。
九、刀缘
　　当FFU使用在一些特别的场合时，带刀缘的FFU可使用液槽密封，从而能满足高密封性的要求。
十、控制单元
　　FFU的控制可大致分为多档开关、连续调节、计算机控制等几种，同时实现的功能有单台控 制、分区控制、报警、运行状态显示等。